潔(jie)凈室(shi)的溫(wen)濕(shi)(shi)度(du)主要(yao)(yao)是根據(ju)工藝(yi)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)來確定的。在滿足工藝(yi)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)的條件下，應考慮人的喜好。不(bu)同行業的潔(jie)凈室(shi)都有(you)不(bu)同的溫(wen)濕(shi)(shi)度(du)控制范圍(wei)，對(dui)監測儀器(qi)也有(you)不(bu)同的要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)。本章將從半導體行業來探討(tao)潔(jie)凈室(shi)的溫(wen)濕(shi)(shi)度(du)方(fang)案。

　　面板顯(xian)示、微(wei)機(ji)電、晶圓、芯片(pian)等高(gao)精(jing)(jing)尖要求的半導(dao)體行(xing)業加(jia)工(gong)精(jing)(jing)度(du)越(yue)精(jing)(jing)細(xi)，對溫濕(shi)度(du)波動的范圍要求越(yue)小(xiao)(xiao)。如(ru)在大規模(mo)集成電路生產的光刻曝光工(gong)藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為掩膜(mo)板材料(liao)的玻璃與硅片(pian)的熱膨脹系數的差要求越(yue)來越(yue)小(xiao)(xiao)。直徑100um的硅片(pian)，溫度(du)上升1℃，就會引起0.24um線性膨脹。在這樣的情(qing)境下，溫度(du)需要準確(que)控(kong)制，避免影響(xiang)產品(pin)的質(zhi)量。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈室(shi)內(nei)溫度的(de)影響主要是從產(chan)品精(jing)度，合格(ge)率以(yi)及污染(ran)的(de)角度（溫度升(sheng)高后，會引(yin)起人出汗，汗水(shui)會對(dui)產(chan)品產(chan)生污染(ran)，特別是怕鈉的(de)半(ban)導體(ti)車間）來考慮的(de)。越精(jing)細、集(ji)成度高的(de)電(dian)子加工，對(dui)溫度的(de)敏感(gan)性越大。

　　濕度太高(gao)會使物(wu)(wu)體表(biao)面的(de)灰塵難以清除，但(dan)是相對濕度低于30%時(shi)，又(you)由于靜(jing)電力的(de)作用使粒子也容易(yi)吸附于物(wu)(wu)體表(biao)面，靜(jing)電會使半導體器(qi)件發生(sheng)擊穿。

　　按(an)照半導體生產(chan)工藝(yi)(yi)的(de)特(te)點(dian)，潔凈室(shi)一般溫度控制在20-25℃，濕度控制在50-60%RH，這(zhe)個范圍不但滿足了生產(chan)工藝(yi)(yi)的(de)要(yao)求，而且人在這(zhe)樣的(de)環境下也感到舒服。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅(luo)卓尼(ni)克溫(wen)濕度變(bian)送(song)器(qi)(qi)憑借其準確、穩定、易用(yong)等的(de)(de)特性贏得了半導(dao)體客(ke)戶(hu)的(de)(de)青睞(lai)。無錫徽科特服務的(de)(de)半導(dao)體客(ke)戶(hu)不斷增(zeng)多，如維信諾、惠科光電，廈門天馬(ma)等，他們對溫(wen)濕度的(de)(de)控制(zhi)都很嚴格，羅(luo)卓尼(ni)克的(de)(de)HF1，HF5成為(wei)了他們選擇的(de)(de)明(ming)星款產品。這兩款變(bian)送(song)器(qi)(qi)很好的(de)(de)滿足了客(ke)戶(hu)對儀(yi)器(qi)(qi)高精度、長期穩定、帶顯示(shi)和(he)分析儀(yi)在線校準功能，可以為(wei)生產運營(ying)提供關鍵控制(zhi)和(he)監測數(shu)據的(de)(de)需求(qiu)。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是測量(liang)相對(dui)濕度和溫(wen)度的(de)經(jing)濟款(kuan)變送器(qi)，性(xing)價比高。可選SW21軟件進(jin)行變更量(liang)程并對(dui)變送器(qi)進(jin)行校準和標定(ding)。

　　?23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　?測量范(fan)圍：0至100%RH/-20℃至60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工廠校(xiao)準(zhun)35%RH，80%RH

　　?提(ti)供OEM定制型號和(he)精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系列(lie)變(bian)送器可配合所有帶AirChip芯片的(de)HC2探(tan)頭(tou)使用(yong)。由于(yu)探(tan)頭(tou)的(de)高精度，HF5系列(lie)變(bian)送器能(neng)夠完成高精度的(de)測(ce)量。其探(tan)頭(tou)更(geng)換(huan)簡單輕松，自帶實體按鈕可現(xian)場輕松校準，屏幕背光可調節(jie)。

　　?精度(du)：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常用精度(du)）

　　?測量范(fan)圍(wei)：-50至100℃/0至100%RH（常用(yong)范(fan)圍(wei)）

　　?數字(zi)輸出，可以與(yu)模擬量(liang)輸出結合使用

　　?可以提供多種濕(shi)度學參(can)數(shu)輸出(chu)

　　?HF5軟(ruan)件(jian)任(ren)意(yi)點校(xiao)準(zhun)，保持更(geng)穩定、準(zhun)確的精度

　　?可以(yi)作為(wei)系統(tong)驗證模擬器使用

　　?可選防爆款

　　?提供(gong)OEM定(ding)制型號(hao)，可選其(qi)他探頭(tou)