潔(jie)(jie)凈室的(de)溫濕(shi)度(du)(du)主要(yao)是根據工藝要(yao)求來(lai)確(que)定的(de)。在滿足工藝要(yao)求的(de)條(tiao)件下，應(ying)考慮人(ren)的(de)喜好。不(bu)同(tong)行業的(de)潔(jie)(jie)凈室都有不(bu)同(tong)的(de)溫濕(shi)度(du)(du)控制(zhi)范圍，對(dui)監測(ce)儀器也有不(bu)同(tong)的(de)要(yao)求。本章將從半導體行業來(lai)探討潔(jie)(jie)凈室的(de)溫濕(shi)度(du)(du)方案。

　　面(mian)板顯示、微機電、晶圓、芯片(pian)(pian)等(deng)高精尖要求(qiu)(qiu)的(de)半(ban)導體行業加工(gong)精度越精細，對(dui)溫(wen)濕度波(bo)動的(de)范圍要求(qiu)(qiu)越小(xiao)。如在(zai)大規模集成電路生產的(de)光刻曝光工(gong)藝(yi)中，作(zuo)為(wei)掩(yan)膜板材料(liao)的(de)玻璃與硅片(pian)(pian)的(de)熱膨(peng)(peng)脹系數的(de)差要求(qiu)(qiu)越來越小(xiao)。直(zhi)徑100um的(de)硅片(pian)(pian)，溫(wen)度上(shang)升1℃，就(jiu)會引起0.24um線性膨(peng)(peng)脹。在(zai)這樣的(de)情境下(xia)，溫(wen)度需要準確控制，避免影響產品(pin)的(de)質量(liang)。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈(jing)室內溫(wen)度(du)(du)(du)的(de)影響(xiang)主要是從產(chan)品(pin)精度(du)(du)(du)，合格率以及(ji)污染的(de)角度(du)(du)(du)（溫(wen)度(du)(du)(du)升高后，會(hui)引起人出汗，汗水會(hui)對(dui)產(chan)品(pin)產(chan)生污染，特別(bie)是怕(pa)鈉(na)的(de)半導體車(che)間(jian)）來考(kao)慮的(de)。越精細、集(ji)成度(du)(du)(du)高的(de)電(dian)子加工(gong)，對(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)的(de)敏感性越大。

　　濕度太(tai)高會(hui)使物體(ti)表面的灰(hui)塵難(nan)以(yi)清除，但是相對濕度低(di)于(yu)30%時，又由于(yu)靜(jing)電(dian)力的作(zuo)用使粒子(zi)也容易(yi)吸(xi)附于(yu)物體(ti)表面，靜(jing)電(dian)會(hui)使半導體(ti)器件發生擊穿。

　　按照半導體生產工(gong)藝(yi)的特點，潔凈(jing)室(shi)一般溫度(du)控(kong)制在20-25℃，濕(shi)度(du)控(kong)制在50-60%RH，這個范圍不但滿足了生產工(gong)藝(yi)的要求，而(er)且人在這樣的環境下也感到舒服。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅(luo)卓尼克溫(wen)濕度變送器憑借其(qi)準確、穩定、易(yi)用等(deng)的(de)特性贏得了半(ban)(ban)導(dao)體(ti)客戶(hu)(hu)的(de)青睞。無錫徽科特服(fu)務(wu)的(de)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)客戶(hu)(hu)不斷(duan)增多，如(ru)維信諾、惠科光電，廈門天(tian)馬等(deng)，他(ta)們對溫(wen)濕度的(de)控制都(dou)很(hen)嚴格，羅(luo)卓尼克的(de)HF1，HF5成(cheng)為了他(ta)們選擇的(de)明星款產(chan)品(pin)。這兩款變送器很(hen)好的(de)滿足了客戶(hu)(hu)對儀(yi)器高精度、長(chang)期穩定、帶(dai)顯示和(he)分析(xi)儀(yi)在線(xian)校準功(gong)能，可(ke)以為生(sheng)產(chan)運營提供關鍵控制和(he)監測數(shu)據的(de)需求。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是測量(liang)相(xiang)對(dui)濕(shi)度和溫度的經濟款變(bian)送器(qi)，性價比高。可(ke)選SW21軟件進行(xing)(xing)變(bian)更量(liang)程并對(dui)變(bian)送器(qi)進行(xing)(xing)校準和標定。

　　?23℃±5℃精度(du)：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　?測(ce)量(liang)范圍(wei)：0至(zhi)100%RH/-20℃至(zhi)60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工廠(chang)校(xiao)準35%RH，80%RH

　　?提(ti)供OEM定制型(xing)號和精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系列(lie)變送器可配合(he)所有帶AirChip芯(xin)片(pian)的HC2探頭使用(yong)。由于探頭的高精度(du)，HF5系列(lie)變送器能夠完成高精度(du)的測量。其探頭更換簡單輕(qing)松(song)，自帶實體按(an)鈕可現場輕(qing)松(song)校準，屏(ping)幕背光可調節。

　　?精度：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常用(yong)精度）

　　?測(ce)量范圍(wei)：-50至(zhi)100℃/0至(zhi)100%RH（常(chang)用范圍(wei)）

　　?數字輸出，可(ke)以與模(mo)擬量(liang)輸出結(jie)合使用

　　?可以提供(gong)多種(zhong)濕(shi)度(du)學參數輸出(chu)

　　?HF5軟件(jian)任意點校準(zhun)，保持更(geng)穩定、準(zhun)確的精(jing)度

　　?可以作(zuo)為系(xi)統驗證模擬器(qi)使用

　　?可選防爆款

　　?提(ti)供OEM定制型號，可選其他探頭(tou)