潔凈室的(de)溫(wen)濕度主(zhu)要是根據工藝要求來(lai)確(que)定的(de)。在滿(man)足(zu)工藝要求的(de)條件下，應考慮人的(de)喜(xi)好。不(bu)同(tong)行(xing)業(ye)的(de)潔凈室都有不(bu)同(tong)的(de)溫(wen)濕度控制范圍，對監測儀(yi)器(qi)也有不(bu)同(tong)的(de)要求。本(ben)章(zhang)將從半導體行(xing)業(ye)來(lai)探討潔凈室的(de)溫(wen)濕度方案(an)。

　　面板顯示(shi)、微機(ji)電(dian)、晶圓、芯片等高精(jing)(jing)尖要(yao)求的(de)半導體行(xing)業加工精(jing)(jing)度越(yue)精(jing)(jing)細，對溫濕度波動(dong)的(de)范圍要(yao)求越(yue)小。如在(zai)大(da)規模集成電(dian)路生產的(de)光刻(ke)曝光工藝中，作為掩(yan)膜板材(cai)料(liao)的(de)玻(bo)璃與硅片的(de)熱膨脹系數的(de)差(cha)要(yao)求越(yue)來越(yue)小。直徑(jing)100um的(de)硅片，溫度上升1℃，就會引起0.24um線性膨脹。在(zai)這樣的(de)情境(jing)下，溫度需要(yao)準確控制，避免影響產品(pin)的(de)質量(liang)。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈室內溫(wen)度(du)的(de)影(ying)響主(zhu)要是從產(chan)品(pin)精度(du)，合格(ge)率以及(ji)污染的(de)角(jiao)度(du)（溫(wen)度(du)升高后，會引起人出汗，汗水會對產(chan)品(pin)產(chan)生污染，特別是怕鈉的(de)半導體(ti)車間）來考慮(lv)的(de)。越精細、集成(cheng)度(du)高的(de)電子(zi)加工，對溫(wen)度(du)的(de)敏感性(xing)越大。

　　濕度(du)太高會使物(wu)體(ti)表面(mian)的灰塵難以清除，但是相(xiang)對(dui)濕度(du)低于30%時，又由(you)于靜電力(li)的作(zuo)用(yong)使粒子也容易吸附于物(wu)體(ti)表面(mian)，靜電會使半導體(ti)器件發生擊穿。

　　按照半導體(ti)生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi)的(de)特點，潔凈室一般溫(wen)度控制在(zai)(zai)20-25℃，濕(shi)度控制在(zai)(zai)50-60%RH，這個范圍不但(dan)滿足了生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi)的(de)要求，而且人在(zai)(zai)這樣的(de)環境下也感到舒服(fu)。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅卓尼克溫(wen)濕(shi)度(du)變(bian)送器(qi)(qi)憑借其(qi)準確、穩定、易用等的(de)(de)特性(xing)贏(ying)得了(le)半導體(ti)客戶(hu)的(de)(de)青睞(lai)。無錫(xi)徽科(ke)特服務的(de)(de)半導體(ti)客戶(hu)不斷(duan)增多，如維信(xin)諾、惠科(ke)光(guang)電，廈門(men)天馬(ma)等，他們對(dui)溫(wen)濕(shi)度(du)的(de)(de)控(kong)制都很嚴(yan)格，羅卓尼克的(de)(de)HF1，HF5成為了(le)他們選(xuan)擇(ze)的(de)(de)明星款(kuan)產品。這(zhe)兩款(kuan)變(bian)送器(qi)(qi)很好的(de)(de)滿足了(le)客戶(hu)對(dui)儀器(qi)(qi)高精度(du)、長(chang)期穩定、帶(dai)顯示和分析(xi)儀在線校準功(gong)能，可以為生產運營提供關鍵控(kong)制和監測數據的(de)(de)需求。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是測量(liang)相對濕度(du)和溫度(du)的(de)經濟(ji)款變送器(qi)，性(xing)價比高(gao)。可選SW21軟件進行(xing)變更量(liang)程并對變送器(qi)進行(xing)校準(zhun)和標定(ding)。

　　?23℃±5℃精(jing)度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　?測量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工廠校準35%RH，80%RH

　　?提供OEM定制型(xing)號和(he)精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系(xi)列(lie)(lie)變(bian)送器可配合所有帶AirChip芯片的HC2探(tan)頭(tou)使用(yong)。由于探(tan)頭(tou)的高(gao)精度，HF5系(xi)列(lie)(lie)變(bian)送器能夠完成高(gao)精度的測量。其探(tan)頭(tou)更換簡單輕松(song)，自帶實體按鈕可現場輕松(song)校準，屏幕背光(guang)可調節。

　　?精度：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常用精度）

　　?測(ce)量范圍(wei)：-50至(zhi)100℃/0至(zhi)100%RH（常(chang)用范圍(wei)）

　　?數字輸(shu)出(chu)，可以(yi)與模擬量輸(shu)出(chu)結合使用

　　?可以提(ti)供多(duo)種濕度學參(can)數輸出

　　?HF5軟件任意點(dian)校(xiao)準(zhun)(zhun)，保持更(geng)穩定、準(zhun)(zhun)確的精度

　　?可以(yi)作為系統驗證(zheng)模擬器使用

　　?可選防爆款

　　?提供OEM定制型(xing)號，可選(xuan)其他探頭